EDS成分分析

- 微观形貌关联：需结合电子显微镜观察微观形貌，对特定微小区域（如颗粒、镀层、断口）进行定点成分确认。
- 失效分析需求：常用于电子元器件、工业产品在研发或使用中出现的异物、断裂、腐蚀等问题的原因查找。
- 快速筛查：无需复杂制样，可快速获得元素种类信息。

- 元素范围：通常可测 铍/硼(Be/B) 至 铀(U) 之间的元素。
- 分析深度：微区分析激发体积约在 1-10微米3 左右。
- 检测限：一般在 0.1% 左右（受基体影响）。
- 局限性：通常只给出元素种类及含量，不能直接区分化合物（如无法直接判断是SiO?还是游离Si和O）。