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仪器信息网 3i讲堂 FemtoChisel:重新定义飞秒激光的加工质量,助力半导体失效分析
[报告]FemtoChisel:重新定义飞秒激光的加工质量,助力半导体失效分析
开始时间: 2026-10-21 14:30
主讲老师: 陆畅 | TEM/激光产品经理
所在公司: Tescan
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报告相关会议
第七届半导体材料检测与器件分析新技术网络研讨会
2026年10月20日 09:00 -- 10月22日 18:00
当前,半导体产业正处于AI驱动的深刻变革周期中。以碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)为代表的第三代半导体,已成为全球科技产业竞争的战略制高点,也是我国培育新质生产力的核心领域。2026年,预计第三代半导体功率及射频电子产值增速将达15%以上,中国企业碳化硅材料已占全球供给约50%,进入全球第一梯队。与此同时,半导体分析检测的定位正从产业链末端的质量把关环节,升级为贯穿设计、制造、封测全流程的核心支点。芯片集成度不断提升、器件结构日趋复杂、新材料新工艺加速迭代,检测与失效分析作为保障芯片品质稳定、运行可靠的关键技术,其重要性日益凸显。10月20-22日,仪器信息网将联合第三代半导体产业技术创新战略联盟(CASA)举办第七届半导体材料与器件分析检测新技术网络研讨会。本届会议围绕已确定的四大专场展开,深入探讨半导体检测技术从标准引领、材料结构表征、成分与微污染控制,到器件性能、可靠性与失效分析的全链条技术进展与创新应用。分享有礼!(需要邀请新用户,介意请勿参加)邀请8位新用户报名得纸质书一本《碳化硅功率器件:特性、测试和应用技术 第2版》邀请5位新用户报名得纸质书一本《半导体的检测与分析(第2版)》或《图解入门 半导体制造工艺基础精讲(原书第4版)》(二选一) 添加微信(15718850776)领取,截至时间10月22日12:00
报告介绍
报告介绍:
随着半导体器件尺寸不断微缩并迈向更复杂的三维架构,失效分析与先进器件的样品制备对更高精度、更低损伤和更高通量的需求日益迫切。Tescan适时推出了新一代飞秒激光加工平台FemtoChisel,可实现快速、高质量的材料去除,并几乎不存在热影响区和二次沉积现象,从而妥善解决了此前的痛点。该平台融合高能量密度飞秒激光源、智能多气体处理和原位光学监测,支持多种常见半导体架构的加工,包括但不限于封装去层、芯片级截面制备和TEM薄片预处理。本报告将介绍其底层技术、关键性能优势及代表性应用,展示FemtoChisel如何在保持半导体结构完整性的同时,加速下一代半导体器件的先进失效分析。
主讲老师:
陆畅
陆畅,北京航空航天大学本科,师从郭林教授;美国Wake Forest University博士,师从Scott Geyer教授。拥有多年电子显微镜(扫描电镜和透射电镜)和相关附件产品(如EDS,EBSD,EELS,4D STEM等)的表征分析经验。发表文章20余篇,总引用2500余次。2025年加入Tescan团队,负责Tescan 4D STEM电镜(TENSOR)/FemtoChisel激光加工产品的业务拓展工作。
参会说明:

一、报名贴士(敷衍填写将不予审核)

  • 1、请认真填写各项,您的手机号为您的参会凭证。

  • 2、报名后,参与直播可获取会后资料、加交流群。

二、参会方式(手机电脑均可参会)

  • 1、直播前一天,助教会统一审核。审核通过后,会发送参会链接给报名手机号。

  • 2、如无法正常参会,请拨打页面下方电话,帮您解决

三、会议资料(交流群,会后视频)

  • 1、报名并参与直播可与专家问答交流。会议群会在直播当天展示,会议ppt无法提供。

  • 2、关注【仪器信息网微服务】,微信提醒会议进度,便捷查阅近期会议及视频回放。

  • 3、下载【仪器信息网app】,获得会后回放视频、免费下载10万篇标准、获得实验室操作实战宝典等精品资料。

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