离子减薄技术是一种常见的透射电镜制样技术,其原理是利用高能氩离子轰击Ø3mm样品,获得纳米级薄区供后续TEM观察使用。这一方法在金属材料以及无机非金属材料科学领域都有着非常广泛的应用。但众所周知,离子减薄也是一个技巧性很高的技术:样品的前处理、离子枪加速电压、电流、离子入射角度的选择等等,都对实验成功与否起着至关重要的作用。
本次讲座,以Leica EM RES102型离子减薄仪仪器载体,展示不同样品的实验结果,并详细介绍所涉及的实验技巧,让听众得以充分了解离子减薄的应用范围,同时也能够学习到相应制样技巧。
电镜网络会议(iConference on Electron Microscopy,iCEM)由仪器信息网于2015年在业内首次发起,旨在利用互联网技术为国内的广大电子显微学工作者提供一个突破时间地域限制的免费学习平台,让大家足不出户便能聆听到电子显微学专家的精彩报告,节省时间和资金成本。
电镜网络会议的想法提出后,得到了许多业内专家学者的指导和支持,大家希望能通过网络平台让越来越多的电镜用户更好的掌握电子显微学技术、推动我国电子显微技术的应用发展。
2017年6月21日-23日,仪器信息网将组织举办第三届电镜网络会议(iCEM 2017),并围绕广大用户感兴趣的技术领域组织报告,涉及原位电子显微学技术、高分辨电子显微学技术、材料样品制备技术、EDS/EBSD技术、扫描电镜应用及维护、生物电镜样品制备技术、冷冻电子显微学技术等领域。
微电子材料样品在做失效分析扫描电镜图像拍摄之前,需要准确研磨到目标位置,尽可能的避免样品研磨面的应力损伤和污染,以便获得清晰的样品断面形貌,或进行元素定性定量分析等。
本次讲座介绍如何机械研磨、离子束切割抛光方式和超薄切片方式制备扫描电镜样品。徕卡精研一体机TXP可以对样品进行精确定位研磨,高效率的处理以往难以制备的样品。徕卡三离子束切割抛光仪TIC3X可对样品进行无应力损伤和无磨料污染的氩离子束切割抛光,确保样品适合高倍率扫描电镜图像观察,或这EBS和EBSD分析。徕卡超薄切片机UC7是利用钻石刀对样品进行精细准确切割,非常适合于铜、铝和高分子膜层的截面制备。
本次讲座,以Leica EM RES102型离子减薄仪仪器载体,展示不同样品的实验结果,并详细介绍所涉及的实验技巧,让听众得以充分了解离子减薄的应用范围,同时也能够学习到相应制样技巧。