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KLA全方位薄膜表征解决方案：从膜厚、电阻、应力到纳米力学的多维解析
会议时间：2026年04月16日 14:00 -- 04月16日 15:30
| 票务类型 | 参会人数量 |
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| 培训注册 ：500元 日期：6月9日前 |
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大会注册【在读学生】：700元 日期：6月10日—11日 |
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大会注册【非在读学生】：1500元 日期：6月10日—11日 |
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会议时间：04月16日 14:00 -- 04月16日 15:30
随着半导体、光电子及新能源产业向高性能、高集成度方向持续演进，薄膜材料的性能控制已成为决定器件可靠性及良率的关键环节。从透明导电氧化物（如ITO）到功能薄膜的力学性能评估，精准、多维度的表征技术正成为研发与量产线共同关注的焦点。
本次研讨会将聚焦薄膜表征的几大核心维度，通过ITO薄膜的厚度-电阻率-应力系统性研究，以及纳米压痕技术对薄膜的硬度和模量测量的应用案例，深度解析KLA量测技术如何助力用户打通从材料研发到工艺优化的技术闭环。通过理论与实践相结合的案例分享，为从事材料研发、工艺开发及质量控制的专业人士提供兼具深度与实用性的技术启发。
立即报名，解锁薄膜表征技术的更多可能！参会即有机会赢取精美礼品。
我要参会
ITO 薄膜在不同厚度条件下的电阻率与应力演变
张骏
KLA 应用经理
纳米压痕技术在薄膜材料力学性能表征中的应用
谢存毅
KLA 应用工程师
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本次会议由中国水产科学研究院主办，若无法参会，请直接联系中国水产科学研究院
联系人：杨臻
联系电话：010-6867124 158 0116 9739
