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微纳制造与检测技术应用网络研讨会

会议时间:2026年01月14日 10:00 -- 01月14日 12:00

票务类型 参会人数量
培训注册 :500元
日期:6月9日前
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大会注册【在读学生】:700元
日期:6月10日—11日
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大会注册【非在读学生】:1500元
日期:6月10日—11日
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会议时间:01月14日 10:00 -- 01月14日 12:00

大会介绍

在半导体产业高速发展的当下,先进封装、MEMS传感器、集成光子学等领域的创新,使得微纳制造技术正迎来规模化爆发与精细化演进,从深硅刻蚀、晶圆级键合、电镀与化学机械抛光,到纳米级薄膜沉积、定向自组装与极紫外光刻等工艺,不断推动器件向更小尺寸、更高集成与更复杂三维结构演进。在这一趋势下,微纳尺度的表面形貌、粗糙度、三维尺寸已成为影响器件性能、可靠性与良率的关键参数。传统单一测量技术或在不同设备间切换的流程,已难以满足研发中对精度、效率与可重复性的复合型苛刻要求。

为聚焦行业前沿挑战,共享创新解决方案,Evident联合仪器信息网,共同举办本次“微纳制造与检测技术应用”网络研讨会。旨在为一线研发、工艺与质量人员提供一个聚焦难题、直击方案、探讨前沿的高价值交流平台。通过微纳研究与制造领域专家,以及Evident技术专家结合其近期推出的全新LEXT OLS5500精准测量激光共聚焦显微镜分享报告,提供新的解决思路。

诚邀半导体和先进封装、MEMS与传感器、精密光学相关的研发/质量/工艺人员,高校科研院所的微纳加工实验室/平台人员,以及关注微纳制造产业最新进展的专家学者线上参会!

主办单位:Evident & 仪器信息网

会议日程

01月14日 微纳制造与检测技术应用网络研讨会 我要参会
  • 10:00--10:40 异质集成下的微纳制造:晶圆键合与界面微观表征分析破局 陈旭 湖北九峰山实验室 技术专家
  • 10:40--11:20 微纳世界,纤毫毕现:激光共聚焦显微镜OLS5500全新升级 吴丹霞 仪景通光学科技(上海)有限公司 产品经理

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