中国科学技术大学微纳研究与制造中心

个人简介:刘文，男，工学硕士，毕业于中国科学院研究生院，毕业后就职于上海华虹宏力半导体制造有限公司，负责光刻工艺开发和维护，熟悉半导体加工各个工艺段工艺，掌握多种图形化加工手段。2013年进入了中国科学技术大学微纳研究与制造中心，先后负责和参与了光刻、镀膜、刻蚀和表征等工艺设备的调研采购、安装、调试和验收工作，作为光刻图像化设备组负责人，负责电子束光刻、步进投影式光刻机、无掩膜激光直写、接触式光刻机、纳米压印等多种图形化加工设备，具有丰富的微纳加工经验。 查看更多