中国科学院电工研究所

个人简介:韩立，男，研究员，现任中科院电工所副所长，微纳加工技术与智能电气设备研究部主任。主要从事电子光学设备研制、微纳加工与检测技术等研究工作。先后研制出小型电子束曝光系统、图形发生器、盲文打印机、微焦斑X射线源等关键部件和先进仪器设备，相关研究处于国内领先水平。作为项目负责人先后承担了国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（02专项）项目、科技部“973”、“十三五”重点专项项目、中科院知识创新重大项目等各类项目5项；参与各类项目近10项，获授权发明专利20余项，相关研究成果多次获北京市科学技术进步奖。目前是中科院“电子束/X射线共性关键技术”团队的负责人。现担任科技部“十四五”国家重点专项“重大科学仪器设备开发”总体专家组和指南编写组专家，参与编写了“重大科学仪器设备开发”重点专项2016至2020年的项目指南。现任“重大科学仪器设备开发”重点专项11个项目责任专家。担任中国科学院仪器研制专家委员会委员，牵头编制了《中国科学院“十四五”科研仪器设备发展战略研究报告》和《中国科学院自主研制科学仪器产品名录》，参与编制了《中国科学院“十四五”科研仪器设备自主研制发展战略研究报告》。同时担任仪器仪表学会的学术委员会委员和电镜学会电子光学专委会主任。 查看更多