中国科学技术大学 微纳研究与制造中心

个人简介:李伟，中国科学技术大学微纳研究与制作中心副主任，封装测试机组负责人。‌研究方向‌：微纳加工及测试工艺，擅长聚焦离子束，二次离子质谱，扫描电子显微分析及原子力显微镜等分析表征技术。发表SCI论文10余篇，授权中国发明专利20余项，美国专利10余项。 查看更多