中国科学院沈阳自动化研究所

个人简介:中国科学院沈阳自动化研究所研究员，博士生导师。国家级领军人才，中国科学院百人计划A类人才。日本京都大学电子工学专业博士。曾在世界500强日本最大综合电气企业-日立集团长期从事微纳显微技术的研究及相关工业级仪器设备的研发工作。针对半导体芯片等微电子制品在生产研发中的表面形貌、局域组分分布等测量需求，负责开发了全球唯一应用扫描探针显微镜技术的在线全数检查设备和全球首台半导体产线用电子显微镜与扫描探针显微镜联用三维量测系统。开创了低背景针尖增强拉曼方法和差动反馈高分辨红外光谱，解决了面向集成电路，新能源等国家重要领域的高分辨测量分析难题。开发设备在TDK、西部数据、英特尔等存储和芯片制造商实际应用。以第一发明人申请发明专利50余件。于2024年10月全职回国加入中国科学院沈阳自动化研究所机器人与智能系统全国重点实验室，组建智能仪器与微纳表征技术课题组。 查看更多