中国科学院微电子研究所

个人简介:霍树春，博士/博士后，中国科学院微电子研究所副研究员，硕士生导师，从事IC及泛半导体领域微纳米结构的光学测量理论与技术研究，先后承担10余项国家级、省部级科研项目与课题，全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）委员、中国计量测试学会计量仪器专业委员会、中国光学学会光电专委会委员、原子级制造论坛青年工作委员会委员等，在相关领域发表SCI论文20余篇、授权专利16项、参编专著1部，主持/参与起草国家标准8项、团体标准2项。 查看更多