中国科学技术大学

个人简介:周典法，安徽合肥人，中国科学技术大学微纳研究与制造中心工程师，主要从事微纳米加工技术方向的研究工作，在微纳米制造工艺装备故障诊断与维修技术、激光应用技术、医学检测装置与微流控技术、MEMS传感器制造技术与芯片微结构版图设计方面有丰富的实践经验，是国内较早一批全程参与筹建微纳米加工技术实验室的团队成员，为国内众多高校的微加工实验室建设提供了全程的技术咨询与业务指导工作，由于在微纳米加工技术方面的突出成绩，2020年被聘为全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会委员。 查看更多