中国科学技术大学微纳研究与制造中心

个人简介:周成刚，中国科学技术大学微纳研究与制造中心主任，高级工程师，中国光学工程学会微纳专业委员会委员，全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会委员。主要研究方向是微纳米器件设计、加工技术及其学科交叉应用，近年来在Angewandte Chemie、Sensors and Actuators、Micromachines等期刊发表微纳加工及其应用领域学术论文十余篇，授权专利十余项，迄今已参与了多项国家自然科学基金、中科院战略先导专项及国家重点研发计划项目，曾担任中国科学院战略性先导科技专项（C类）子课题负责人和副总工程师。 查看更多