中国科学院微电子研究所 研究员

个人简介:刘涛，中国科学院微电子研究所，研究员，硕士生导师.长期从事微电子和纳米技术领域的先进量测技术与仪器方向研究。主要围绕基于偏振光谱学、纳米光子学与光量子等交叉学科，结合精密仪器技术，研制光学线宽膜厚、晶圆缺陷等面向微电子制程和微纳结构的尺度与物性量测技术与仪器。主持02重大专项、重点研发、基金委仪器、中科院等项目和课题多项。率先成功主持或参与研制多项国内集成电路产业关键在线晶圆量测仪器，合作和任职于中科飞测等行业龙头企业。发表科研论文30余篇，著作2章节，专利60余项。 查看更多