中国科学院光电技术研究所

个人简介:刘俊伯，博士，中科院光电技术研究所微电子装备总体实验室、副研究员、硕士生导师、四川省杰青，入选中国科学院青年创新促进会和西部之光人才计划，主要从事特种曝光装备及关键技术研究。承担/主研重点研发计划、国家自然科学基金、四川省应用基础研究等项目。在上述项目支持下，重点开展特种曝光装备、综合像质原位测试、计算光刻等核心技术研究，发表SCI 期刊论文20余篇，获发明专利授30余项。组织团队成功研制UVSTEP系列化特种曝光装备，在多个领域实现多台套上线应用，产生较好的社会、经济效益。 查看更多