研磨液配方分析

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研磨液配方分析
        研磨液一般的主要成分为增稠剂、分散剂、pH 调节剂、表面活性剂与螯合剂等，研磨液与磨料、去离子水混合后就构成了研磨浆料。
        增稠剂增稠剂又称胶凝剂，它主要是用来提高研磨液粘度，使磨料保持均匀的稳定的悬浮状态或乳浊状态，或形成胶体。
分散剂主要采用一种在分子内同时具有亲油性和亲水性两种相反性质的界面活性剂。可均匀分散那些难溶解于液体的无机固体颗粒，同时也能防止固体颗粒凝聚沉降，达到悬浮磨料的效果。
        pH 调节剂，研磨液中添加碱性物质，可以与硅片损伤层表面的硅原子发生反应，表面生成半程亲水性的硅氧化合物，这样在研磨的过程中，能增加硅片表面的润湿性，从而减少硅片表面点划伤缺点码的增多。
表面活性剂是指加入少量能使其溶液体系的界面状态发生明显变化的物质。
        螯合剂是含有2个或2个以上孤对电子的分子或离子与具有空的价电子层轨道的中心离子相结合的单元结构的物质，同时具有一个成盐基团的中心离子和成络基团与金属阳离子作用，除了有成盐作用之外还有成络作用的环状化合物。
        磨料与碱也起着强烈的化学吸附作用 (磨料与碱发生化学反应)，磨料与硅片之间，在与碱液反应后，新生断键相互作用，如静置时间较长后，很难将磨料与研磨液从硅片上冲洗下来，所以研磨液的pH 不能过高。在研磨液中，一般加入乙二胺四乙酸及其钾盐，它有五个螯合环能和几十种金属离子形成稳定的螯合物。也有采用一些高性能的鳌合剂来对研磨工艺中的重金属离子进行鳌合。在研磨液中一般加入非离子型表面活性剂，这类表面活性剂润湿性、乳化性比较好。如脂肪醇聚氧乙烯醚(俗称平平加系列)，它具良好湿润性能；烷基酚聚氧乙烯醚(俗称OP 系列)，化学性质稳定，抗氧化性能强。

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