场发射扫描电镜实验室

场发射扫描电子显微分析实验室装备最先进的场发射扫描电子显微镜和样品前处理设备。该电子显微镜主要由三部分组成：主机为FEI  Nova Nano SEM450，X射线能谱仪EDS为牛津电制冷X-Max⁸⁰，阴极荧光谱仪为Horiba CL-HCL-I312。

主机型号：FEI  Nova Nano SEM450
       Nova Nano SEM450是一台高分辨场发射扫描电子显微镜，主要用于纳米级矿物、材料等的高分辨率微观形貌观察表征和微区分析。配备高稳定性、大束流肖特基场发射电子枪以及性能卓越的电子光学系统和信号探测系统，包括磁浸入模式，电子束减速模式以及极靴内二次电子/背散射电子和极靴下的环状背散射电子探测器。

主要技术指标：
        1. 二次电子图像分辨率：
                高真空模式：1.0nm @ 15kV；1.4nm@1kV
                低真空模式：1.5nm@30kV
        2. 背散射图像分辨率：1.5nm@30kV；3.5nm@100V
        3. 放大倍数：20～1000000倍
        4. 电子束流：0.6pA～200nA，连续可调
        5. 着陆电压：20V～30kV，步长10V

 探测器：
            ETD：样品室内普通SE探测器
            TLD：极靴内高分辨SE/BSE探测器
            CBS：极靴下四通道环状BSE探测器
            LVD：低真空SE探测器
           GAD：低真空BSE探测器
配件：
        X射线能谱分析仪（EDS）：主要用于样品纳米微区成分分析。该仪器配备牛津公司第七代X-Max电制冷探测器，窗口面积80mm²，Mn Kα分辨率优于127 eV，C Kα分辨率优于56 eV，F Kα分辨率优于65 eV，分析元素范围⁴Be-⁹²U，能够进行微区元素的定性定量分析、元素的大范围面扫描自动拼接等功能。
        阴极荧光谱仪（CL）：型号为Horiba CL-HCL-I312，主要用于样品的阴极发光成像以及光谱定性分析。该机配备单光子计数CL光谱及CCD阵列快速CL光谱，配有CCD和PMT成像系统，可实现单色、全色、RGB成像。