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我要测网视频牛津仪器AFM在半导体领域的研究进展

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1 2026-11-02

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牛津仪器AFM在半导体领域的研究进展

在半导体工艺持续微缩、集成度不断提升的背景下，行业对纳米尺度计量与失效分析能力提出了更高要求。牛津仪器原子力显微镜（AFM）具有高分辨、高通量及多模式表征能力，使其在半导体工艺控制、缺陷定位及界面分析等环节中，成为兼具高分辨率与多信息通道的关键工具。本次研讨会将结合实际案例，介绍牛津仪器AFM技术在半导体领域的研究进展。

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